适用于3英寸晶圆的划片
划片机 100是一款独特的设备,设计用于划分精密模具,例如GaAs和硅芯片。划片机 100非常灵活,使用划线和断裂顺序,使成品模具保持清洁,不受损坏。 在断开模式期间,当线性刀升高以沿着芯线断裂时,划片机 100使用聚酯薄膜来保持模具。薄膜可防止模具受到污染或压力。所有参数均由控制键盘设定,设备坚固耐用,无振动,操作简单,无需过多培训。
磨削头
? Z轴驱动,可调节角度
?可调节划线力从3gr到50gr; 恒重
?金刚石工具:可调节角度和旋转
?刀具偏置,十字准线
晶圆
?晶圆片直径3''
?晶粒尺寸:最小200μm,方形10mmx10mm
?晶圆厚度:100μm及以上
?手动旋转90度
?通过微米螺丝旋转对准
?X Y轴/分辨率1μm
通过渐进式操纵杆控制运动
视觉系统
光学放大倍率(1至4倍),与其他应用兼容
校准:可编程区域/手动
TFT监视器17'和CCD彩色高清摄像机?目标发生器
LED照明
断路器
断路模式:操作员控制或自动
断开模式:使用顶部聚脂薄膜表面和底部切割器
聚酯薄膜:可清除以避免污染
目标发生器
LED照明
参数
步骤指数
Y划线速度从0.1至20 mm / sec
划线长度可编程
重复划线
划线数量
元件编号
触地速度
切割速度
技术规格
功率:100 / 230VAC,500watt
气压:70psi
真空:60%
尺寸:650x700x500mm(26''x28''x20'')
重量:70kgr。